財(cái)聯(lián)社8月14日電，據(jù)杭州日?qǐng)?bào)，近日，作為基地首批簽約孵化項(xiàng)目之一，全國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”已進(jìn)入應(yīng)用測(cè)試，其精度比肩國(guó)際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國(guó)刻刀”。在測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)，浙大余杭量子研究院相關(guān)團(tuán)隊(duì)緊張忙碌著，一臺(tái)模樣酷似大型鋼柜的機(jī)器正在做應(yīng)用測(cè)試，電子顯示屏上不斷閃爍著實(shí)時(shí)參數(shù)。“這不是普通的機(jī)器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人告訴記者，依托省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，這臺(tái)研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機(jī)“羲之”已正式投入市場(chǎng)。

“羲之”取名自書(shū)法家王羲之，“只不過(guò)我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫(xiě)電路?！毖邪l(fā)團(tuán)隊(duì)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，這臺(tái)設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過(guò)高能電子束在硅基上“手寫(xiě)”電路，精度達(dá)到0．6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計(jì)無(wú)須掩膜版，如同用納米級(jí)毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫(huà)，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。